电子芯片厂在生产过程中，部分设备如固晶机会使用压缩空气直接接触产品，如果压缩空气被污染，则产品的废品率将明显提高，影响产品的品质及生产的效率，因此对用气车间的压缩空气质量要求严苛，需洁净的压缩空气，主要指标为：含油量＜0.01mg/m